各行業(yè)中無(wú)塵車(chē)間的溫濕度標準
無(wú)塵車(chē)間是指將一定空間范圍內空氣中的微粒子、有害空氣、**等污染物排除，并將室內的溫濕度、潔凈度、室內壓力、氣流速度、噪聲、照明及靜電控制在某一需求范圍內而特別設計的空間。
無(wú)塵車(chē)間對于溫濕度的控制主要取決于其生產(chǎn)工藝。但在滿(mǎn)足加工工藝的條件下，還應考慮到車(chē)間內人的舒適感。因為人出汗以后，會(huì )對產(chǎn)品產(chǎn)生污染。那么，各行業(yè)中無(wú)塵車(chē)間的溫濕度標準到底有什么不同呢？
一、精密機械加工業(yè)
在精密機械加工和計量等場(chǎng)合，為了防止因熱膨脹而引起的誤差，應保持工作環(huán)境溫度的均一性。工件溫度的允許波動(dòng)幅度應根據加工精度決定。例如，在恒溫室里對一根長(cháng)500mm的標準尺刻線(xiàn)，工藝允許線(xiàn)間公差為2um，其中lum為尺溫變化所引起的形變誤差，另1um為加工與量測誤差。1um折合尺溫變化量＝0.20C[a為尺線(xiàn)膨脹系數，取10／um／(m?K)；l為尺長(cháng)，m]，故工件溫度變化需在： 以?xún)?。但由于工件測量?jì)x器等都有一定的熱惰性，空氣溫度的波動(dòng)傳人工件后，就要衰減。在設計恒溫系統時(shí)，一般總是以恒定環(huán)境空氣溫度為依據，故相應的環(huán)境溫度精度可比工件允許的溫度精度低一些。因此，在確定恒溫室參數和選擇自動(dòng)控制時(shí)，須考慮工件恒溫恒濕車(chē)間、圍護結構、空氣處理設備和自控系統之間的動(dòng)態(tài)特性。
二、電子制造業(yè)
在電子行業(yè)制造車(chē)間是zui重要產(chǎn)生靜電的地方，通常靜電會(huì )對產(chǎn)品造成短路甚至會(huì )造成員工導電暈倒事故，所以電子行業(yè)的無(wú)塵車(chē)間相對濕度不應低于30%，這樣即可以減少靜電的產(chǎn)生，通常建議無(wú)塵車(chē)間的防靜電區域相對濕度不低于50%。過(guò)于干燥的空氣中易粉塵飛揚，電子廠(chǎng)無(wú)塵車(chē)間無(wú)特殊要求的情況下，溫度控制在22 ℃ 左右，相對濕度控制在 55 ～ 60%RH 之間，在這種環(huán)境下，人們感覺(jué)舒適，靜電也消失了。
三、生物制藥業(yè)
在生物制藥的無(wú)塵車(chē)間中對易吸潮藥品的相對濕度要求45％～50％RH(夏季)，片劑等固體制劑50％～55％RH，水針及口服液55％～65％RH 。這樣有利于更好的控制藥品的生產(chǎn)質(zhì)量。
四、集成電路生產(chǎn)加工行業(yè)
在大規模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數的差要求越來(lái)越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線(xiàn)性膨脹，所以須有±0.1度的恒溫，同時(shí)要求濕度值一般較低，因為人出汗以后，對產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導體車(chē)間，這種車(chē)間不宜超過(guò)25度。濕度過(guò)高產(chǎn)生的問(wèn)題更多。相對濕度超過(guò)55%時(shí)，冷卻水管壁上會(huì )結露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會(huì )引起各種事故。相對濕度在50%時(shí)易生銹。
五、食品生產(chǎn)業(yè)
食品，保健品，飲料等車(chē)間對對生產(chǎn)潔凈度要**比較高的，通常為10萬(wàn)級至萬(wàn)級以上，但同時(shí)車(chē)間的濕度越低越容易滋生**，**和其他生物污染(霉菌，病毒，**，螨蟲(chóng))在相對濕度超過(guò)60%的環(huán)境中可以活躍地繁殖。一些菌群在相對濕度超過(guò)30%時(shí)就可以增長(cháng)。在相對濕度處于40%至60%的范圍之間時(shí)，可以使**的影響以及呼吸道感染降至zui低。
為了便于測試不同行業(yè)中無(wú)塵車(chē)間的溫濕度，我公司（宏瑞科技）自主研發(fā)生產(chǎn)了TH-40型數字式溫濕度儀。該儀器選用美國MEAS的傳感器，以數字形式顯示無(wú)塵室內的溫濕度，測試精度高、測試準確，可廣泛應用于電子、制藥、生物技術(shù)、航空航天等生產(chǎn)、科研部門(mén)，是制藥企業(yè)和質(zhì)量監督部門(mén)貫徹GMP規范加強生產(chǎn)環(huán)境管理的理想儀器。
