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粒子計數器的原理

粒子計數器的原理

光學(xué)粒子計數器是利用丁達爾現象（Tyndall Effect）來(lái)檢測粒子。丁達爾效應是用John Tyndall的名字命名的[1]，通常是膠體中的粒子對光線(xiàn)的散射作用引起的。一束明亮的光照在空氣或霧中的灰塵上，所產(chǎn)生的散射就是丁達爾現象。
當折射率變化時(shí)，光線(xiàn)就會(huì )發(fā)生散射。這就意味著(zhù)在液體中，汽泡對光線(xiàn)的散射作用和固體粒子是一樣的。米氏理論（Mie Theory）描述了粒子對光的散射作用。
Lorenz-Mie-Debye理論早由Gustav Mie提出[2、3]，它描述了光是如何朝各個(gè)不同方向散射的。具體的散射情況決定于介質(zhì)的折射率、粒子對光的散射作用、粒子的尺寸和光的波長(cháng)。具體介紹米氏理論的細節超出了本文的范圍；但是，有很多公共領(lǐng)域的應用都可以用來(lái)驗證光是如何散射的[4]。
光的散射情況會(huì )隨著(zhù)粒子尺寸的變化而變化。在粒子計數器中，米氏理論重要的結果以及它對光散射的預測都與之相關(guān)。當粒子尺寸比光的波長(cháng)要小得多的時(shí)候，光散射主要是朝著(zhù)正前方（圖1a）。而當粒子尺寸比光波長(cháng)要大得多的時(shí)候，光散射則主要朝直角和后方方向散射（圖1b）。

圖1光的散射與粒子尺寸的關(guān)系。

光可以看做是沿著(zhù)傳播方向進(jìn)行垂直振蕩的波。這一振蕩方向就是所謂的偏振。入射光的偏振非常重要。在以前的例子里，光的散射是在入射光的偏振平面內進(jìn)行測量的。
粒子尺寸在5μm時(shí)的散射情況類(lèi)似（圖2a）；而具有偏振現象，粒子尺寸在0.3μm（圖2b）時(shí)的散射情況有很大不同。由于用對數表示，變化不到十倍的，都看不到了。

圖2 垂直平面的散射作用。

散射光的強度隨著(zhù)頻率的改變而變化：較短的波長(cháng)意味較強的散射。在其他條件都相同的情況下，藍光的散射強度大約是紅光的10倍。大部分粒子計數器采用的都是近紅外或紅色激光；直到近，這還都是符合經(jīng)濟效益的選擇。藍色氣體和半導體激光器價(jià)格都很貴；而且半導體激光器的使用壽命也很短。

空氣粒子計數器
圖3所示的粒子計數器是使用傳感器的典型設計；氣流、激光、以及聚光鏡彼此成直角。
在傳感器的出口處有一個(gè)真空裝置，把空氣經(jīng)過(guò)傳感器抽走。而空氣中的粒子則將激光散射。散射光又會(huì )被后面的聚光鏡聚焦到光學(xué)探測器上，隨后把光轉換成電壓信號，并且進(jìn)行放大和濾波。此后，這個(gè)信號從模擬的轉換成數字信號，并且由微處理器對它進(jìn)行分類(lèi)。微處理器也會(huì )通過(guò)接口將計數器連接到控制數據收集系統上。

激光
氣體激光器發(fā)明于1960年，而半導體激光器發(fā)明于1962年。開(kāi)始時(shí)這些激光器很貴，但是隨著(zhù)它們變成具有經(jīng)濟效益時(shí)，在粒子計數器中，就用氣體激光取代了白光。而到了20世紀80年代末，在絕大多數場(chǎng)合下，更便宜的半導體激光器又取代了氣體激光器。
用于粒子計數的激光器有兩種：一種是氣體激光器，如氦氖（HeNe）激光器和氬離子（argon-ion）激光器；另外就是半導體激光器[5]。氣體激光器能夠生產(chǎn)強烈的單色光，有時(shí)甚至是偏振光。氣體激光器產(chǎn)生準直高斯光束，而半導體激光器則產(chǎn)生出一個(gè)小的發(fā)散點(diǎn)光源，通常發(fā)散光有兩個(gè)不同的軸，并且總是出現多種模式。由于發(fā)散光具有多軸性，半導體激光器通常都有一個(gè)橢圓形的輸出，這帶來(lái)了一定的挑戰，也帶來(lái)了一定的優(yōu)勢。不同軸的散射光意味著(zhù)要么勉強接受這一橢圓形的輸出，要么設計一套復雜而昂貴的光學(xué)鏡來(lái)做補償。另一方面，橢圓光束很適合用于某些應用，利用長(cháng)軸，可以得到更好的覆蓋范圍。
總之，氦氖激光器的輸出“直接可用”，無(wú)需增加任何光學(xué)元件。要想產(chǎn)生類(lèi)似于氦氖激光器的光束，從半導體激光器出來(lái)的光必須經(jīng)過(guò)透鏡聚焦，這會(huì )導致光能的損耗。但是，半導體激光器的成本低、體積小、工作電壓低、功耗小，成為粒子計數器的佳選擇。
在要求高靈敏度的應用中，氦氖激光器可以用于開(kāi)式腔模式[6]，產(chǎn)生很大的功率（圖4）。因為樣本要通過(guò)光學(xué)空腔諧振器，當粒子濃度較高時(shí)，激光會(huì )中斷（無(wú)法維持“Q”因子），所以此時(shí)這種類(lèi)型的激光不適用。

入口噴嘴
進(jìn)入粒子計數器的入口樣本對計數器的分辨率起著(zhù)至關(guān)重要的作用。入口有兩種類(lèi)形：一種是扁平的（寬10mm，高0.1mm），另一種是內徑為2-3mm的圓形。入口噴嘴為扁平的時(shí)，通常激光束是一條與噴嘴同軸的窄線(xiàn)。
而入口噴嘴為圓形時(shí)，激光束則通常與入射口的軸線(xiàn)大致成直角。粒子會(huì )通過(guò)一個(gè)非常狹窄，強度很高的激光面。
每種類(lèi)型的噴嘴各有優(yōu)缺點(diǎn)。扁平噴嘴出來(lái)的氣流速度相當均勻，它通過(guò)激光束中強而且均勻的部分，因此精度高。
但是，扁平噴嘴的橫截面小，意味著(zhù)要求真空度高于圓形噴嘴，這樣會(huì )增加能耗（這點(diǎn)非常重要，特別是在采用電池供電時(shí)）。扁平噴嘴的制造比較復雜，價(jià)格也較高，而且它和激光之間的配合也是一個(gè)問(wèn)題。
圓形噴嘴比較簡(jiǎn)單，因為它的橫截面較大，對于速度相同的氣流，對真空度的要求也較低，所以當空氣吸入時(shí)，能耗也較小。相對于扁平噴嘴，氣流速度較低意味著(zhù)每個(gè)粒子散射的光也更多。圓形噴嘴的缺點(diǎn)在于它會(huì )降低氣流的均勻性，而且激光束的功率不是均勻的；光束會(huì )變粗，因而精度較低。
光學(xué)聚焦元件
粒子會(huì )朝各個(gè)方向散射光，其中主要的還是正前方。隨著(zhù)粒子的變大，會(huì )有更多的光朝后面以及沿直角方向散射。光學(xué)聚焦元件則將光收集起來(lái)并且聚焦到探測器上，防止出現激光干擾。
光學(xué)聚焦器件會(huì )嘗試只收集包含有用信號的光，而將無(wú)用光排除在外。雜散反射光會(huì )導致噪音，通常會(huì )在基線(xiàn)上產(chǎn)生一定的偏移，這會(huì )影響儀器的靈敏度。

圖3空氣粒子計數器的俯視圖。

反射鏡：凹面鏡可以用來(lái)聚集光線(xiàn)并且把光線(xiàn)聚焦到探測器上。凹面鏡作為燈光的反射鏡，可以將從它的焦點(diǎn)發(fā)出的光反射回焦點(diǎn)。這是常用的光學(xué)聚焦元件，可以用它做出小巧而且成本低的傳感器。
透鏡：用于粒子計數器的透鏡通常都是成對出現的半球鏡。它們可以有效地將圖象（散射光）從一個(gè)焦點(diǎn)傳輸到另一個(gè)焦點(diǎn)（光電探測器）。在許多傳感器中，也在透鏡的另一端用一個(gè)反射鏡來(lái)收集光線(xiàn)。
小心地運用遮蔽技術(shù)，例如限制光圈或視場(chǎng)光闌，可以進(jìn)一步減少偏射光。用透鏡將光線(xiàn)從一個(gè)平面傳輸到另一平面，以及偏光消除技術(shù)，這些與那些攝影技術(shù)中常用的辦法并沒(méi)有什么不同，但是要記住，粒子計數器使用的是單色光輻射，因此不必擔心另外需要使用色差校正（不同波長(cháng)的光折射后會(huì )聚焦在不同點(diǎn)上）。
Mangin鏡：Mangin鏡主要由一個(gè)負凹凸透鏡和一個(gè)鏡像凸形二次表面組成。這些過(guò)去常見(jiàn)于乙炔燈?，F在，它們用在光學(xué)系統中，例如望遠鏡。

圖4開(kāi)腔式激光器。

Mangin鏡在粒子計數器中是成對使用，類(lèi)似于半球透鏡。Mangin鏡比透鏡輕，但是比透鏡寬。和半球透鏡一樣，它的功能是將圖像從一個(gè)鏡子的焦點(diǎn)傳輸到另一個(gè)鏡子的焦點(diǎn)。
非成像粒子計數器：非成像粒子計數器不需要使用任何光學(xué)聚焦元件。光電探測器緊靠著(zhù)試樣的入口和激光，收集散射光。小型傳感器（例如手持式傳感器）往往包含光學(xué)元件，它含有一個(gè)非成像元件。

光電探測器
光電探測器每接收到一個(gè)光子就會(huì )產(chǎn)生電荷，從而將入射光轉換成電脈沖。散射光的數量會(huì )隨著(zhù)粒子尺寸的增大而增多，同時(shí)散射光子也會(huì )到達光電探測器，于是，產(chǎn)生了與粒子尺寸成正比的電流脈沖。
光電二極管：光電二極管就是一個(gè)p-n結。當能量足夠的光子撞上二極管時(shí)，就會(huì )產(chǎn)生一個(gè)可移動(dòng)的電子和一個(gè)帶正電的空穴。這些電荷會(huì )引起光電流，隨后進(jìn)行放大、濾波和分類(lèi)處理。
雪崩光電二極管：雪崩光電二極管[7]是一個(gè)半導體光電倍增管。光子能引起雪崩光電二極管發(fā)生電子雪崩；可以用來(lái)檢測光子并進(jìn)行計數。

處理電路
信號處理電路對光電探測器產(chǎn)生的信號進(jìn)行放大和濾波。
例如，圖5a所示的（經(jīng)夸張處理）信號來(lái)自粒子計數器。粒子產(chǎn)生了4個(gè)尖脈沖?；€(xiàn)有些波動(dòng)，可能是聲波（例如，來(lái)自泵）、電源的影響，也可能是由于空氣從入口處高速涌入時(shí)產(chǎn)生的呼嘯聲的影響?；€(xiàn)的波動(dòng)頻率遠遠低于粒子產(chǎn)生的信號，可以用高通濾波器把它濾除。
這樣還會(huì )留下高頻干擾（可能來(lái)自處理電路），如圖5b所示。高頻干擾的頻率遠遠高于粒子產(chǎn)生的信號，可以用低通濾波器把它濾掉。

圖5光電探測器信號的放大和濾波。

經(jīng)過(guò)濾波后的信號，由一系列的脈沖組成，脈沖的高度與粒子尺寸有關(guān)（圖5c）。現在對這些信號進(jìn)行分類(lèi)，用脈沖幅度分析儀進(jìn)行模擬數字轉換。在轉換成數字信號之后，可以這些經(jīng)過(guò)分類(lèi)的脈沖進(jìn)行計數，后送往控制系統。

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