水基凝聚核粒子計數器簡(jiǎn)介:
在硬盤(pán)和TFT-LCD的生產(chǎn)過(guò)程中以及半導體產(chǎn)品的處理過(guò)程中對懸浮粒子的實(shí)時(shí)監控是非常重要的。這款水基凝聚核粒子計數器(WCPC)的設計可以滿(mǎn)足較高等級潔凈室的檢測需要。它的小采樣粒徑可以達到 10 nm, 而且采樣流量高達2.83 L/min,可以快速采樣或者按照指定流量進(jìn)行采樣?？娠@示粒子濃度、總粒子數或者濃度變化圖表。
優(yōu)點(diǎn):
? 快速響應
? 高采樣流速
? 水基
? 兼容 SMPS 系統
? 小檢測粒徑達到 7 nm
? 高等級潔凈室監測
? 可遠程控制
參數:
? 計數效率:50 % @ 7 nm NaCl 粒子
100 % @ 10nm NaCl 粒子
? 采樣流量:
- 1.0 L/min for 4322
- 2.83 L/min (0.1 cfm) for 4323
? 工作用液體: 去離子水 (推薦使用)
? 大檢測濃度:
- 285.7 X 106 particles / ft3 for 4322
- 285.7 X 105 particles / ft3 for 4323
? jing度:
- ±10 % up to 285.7 X 106 particles / ft3 for 4322
- ±10 % up to 285.7 X 105 particles / ft3 for 4323
? 12小時(shí)背景誤計數
- 0.001 particles/cm3 for 4322
- 0.0005 particles/cm3 for 4323
? 響應時(shí)間(在測試濃度發(fā)生變化的情況下):
- < 5 seconds for 95 % for 4322
- < 2 seconds for 95 % for 4323
? 數據通訊:以太網(wǎng)LAN接口, USB 接口或 RS232
? 操作系統:內置Windows XP
? 數據儲存：FDM (Flash Disk Module) 2GB
可擴展到 60GB
? 氣源:內置無(wú)刷直流氣泵
? 外形尺寸 (L×H×W) :320 × 315 × 260 mm
? 重量:13.4 kg
? 電源:100~240 VAC, 50~65 Hz
